Micro and Nano Scale NMR
Jens Anders; Jan G. Korvink (Hrsg.)

Carbon Nanotube Devices
Christofer Hierold (Hrsg.)

CMOS-MEMS
Oliver Brand; Gary K. Fedder (Hrsg.)

Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
Henry Baltes; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold u. a.

Inkjet-based Micromanufacturing
Jan G. Korvink; Patrick J. Smith; Dong-Youn Shin (Hrsg.)

LIGA and its Applications
Volker Saile; Ulrike Wallrabe; Osamu Tabata; Jan G. Korvink (Hrsg.)

Micro Energy Harvesting
Danick Briand; Eric Yeatman; Shad Roundy (Hrsg.)

Micro Process Engineering
Norbert Kockmann (Hrsg.)

Micro- and Nanomanipulation Tools
Yu Sun; Xinyu Liu (Hrsg.)

Microengineering of Metals and Ceramics Set / Microengineering of Metals and Ceramics
Detlef Löhe; Jürgen Haußelt (Hrsg.)

Microengineering of Metals and Ceramics Set / Microengineering of Metals and Ceramics
Detlef Löhe; Jürgen Haußelt (Hrsg.)

Reliability of MEMS
Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya (Hrsg.)

Resonant MEMS
Oliver Brand; Isabelle Dufour; Stephen M. Heinrich; Fabien Josse (Hrsg.)

System-level Modeling of MEMS
Tamara Bechtold; Gabriele Schrag; Lihong Feng (Hrsg.)

Thermoelectric Energy Conversion
Diana Davila Pineda; Alireza Rezaniakolaei (Hrsg.)